博羅高純氬氣公司
高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)頂用作出產(chǎn)高純硅和鍺晶體的維護(hù)5261氣體;可用作體系,增壓用的惰性氣體;在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所使用4102。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;維護(hù)氣;在鈦、鈷和其他金屬的出產(chǎn)頂用1653作氣;在黑色冶金頂用于吹煉特種鋼。
性質(zhì):無色無味氣體?;瘜W(xué)性質(zhì)不生動,未形成任何化合物。相對密度ds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃);液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點(diǎn)-185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。采用空氣別離提氬,行將液化的空氣進(jìn)行精餾,得到粗氬。抽出粗氬,經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬。