廣東生產(chǎn)鋰電的設備-博為光電|精度高(圖)
氦質譜檢漏儀的簡析及使用方法
一、氦質譜檢漏儀的簡析:
1、為氣體工業(yè)名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散。
2、另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
二、氦質譜檢漏儀的使用方法:
1、氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏,簡便易操作,儀器反應靈敏,生產(chǎn)鋰電的設備,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。
2、是根據(jù)質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰*電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
3、質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。
4、由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收*而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
氦質譜檢漏儀 概述
操作方便:體積小,重量輕,結構緊湊,操作面板簡單;
性能高:采用了進口檢漏儀儀分了泵與的質譜系統(tǒng),靈敏度度高,檢測壓強高,響應時間快;
功能強大:多種模自動切換,豐富的菜項,具有權限管理功能;
可靠性高:采用性的氧化釔銥燈絲提高燈絲壽命,系統(tǒng)具有強大的保護功能;
多種接口:外控io,遙控器接囗以及外部規(guī)管接口等用戶接囗;
單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀
在質譜室內(nèi)有:由燈絲、離化室、離子加速*組成離子源;由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器;由*柵、收集*及高阻組成收集器;放大靜電計管和冷陰*電離規(guī)。
在離化室n內(nèi),氣體電離成正離子,在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過加速*s1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下,具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動,其偏轉半徑可計算。
可見,當b和u為定值時,不同質荷比me-1的離子束的偏轉半徑r不同。儀器的b和r是固定的,調(diào)節(jié)加速電壓u使氦離子束恰好通過出口縫隙s2,到達收集器d,形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來;而不同于氦質荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉半徑與儀器的r值不同無法通過出口縫隙s2 ,所以被分離出來。 (me-1)2=4,即he 的質荷比,除he 之外,c卅很少,可忽略。
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