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進口檢漏儀-博為光電(推薦商家)

經(jīng)過近半個世紀的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:現(xiàn)在各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,進口檢漏儀,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理,以氦為示蹤氣體,對真空設(shè)備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統(tǒng)。
我們知道氣體在電子的轟擊下會產(chǎn)生帶電粒子,帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力,而在磁場的作用下將做圓周運動,而具有不同質(zhì)荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質(zhì)比分離,這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運動并依質(zhì)荷比進行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。
檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標準檢漏技術(shù)來完成,而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。
單級磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀
在質(zhì)譜室內(nèi)有:由燈絲、離化室、離子加速*組成離子源;由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器;由*柵、收集*及高阻組成收集器;放大靜電計管和冷陰*電離規(guī)。
在離化室n內(nèi),氣體電離成正離子,在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過加速*s1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下,具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動,其偏轉(zhuǎn)半徑可計算。
可見,當b和u為定值時,不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑r不同。儀器的b和r是固定的,調(diào)節(jié)加速電壓u使氦離子束恰好通過出口縫隙s2,到達收集器d,形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來;而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的r值不同無法通過出口縫隙s2 ,所以被分離出來。 (me-1)2=4,即he 的質(zhì)荷比,除he 之外,c卅很少,可忽略。
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